Système de gravure sèche NE110

Micro/nano fabrication > Gravure sèche

gaz : CHF3/SF6/O2/Ar

 

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04 72 44 62 82

Structure de rattachement

INL

Rue Enrico Fermi
69622 Villeurbanne
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d'informations : Site internet

L’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) est une Unité Mixte de Recherche (UMR 5270) dont les tutelles sont le CNRS, l’ECL, l’INSA, l’Université Lyon 1 et CPE Lyon. L’INL a pour vocation de développer des recherches technologiques multidisciplinaires dans le domaine des micro et nanotechnologies et de leurs applications. Les recherches menées s’étendent des matériaux aux systèmes, laboratoire s’appuie sur la plate-forme technologique lyonnaise NanoLyon.

Autres Plateformes de la structure

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Plateforme : NanoLyon

CHEVALIER CELINE

Ingénieure de Recherche CNRS - Responsable Centrale de Micro et Nanofabircation Doua

Structure de rattachement : INL
Fédération de recherche :

FRAMA, C2I@L


Tutelle de la plateforme :

UCBL-CNRS-INSA-ECL-CPE


1 rue E. Fermi
Bâtiment Irène Joliot Curie
69622 Villeurbanne

Prise en Charge Totale :
Formation :
Accès avec Assistance Légère :
Ouvert aux académiques :
Ouvert aux entreprises :

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